高純氣體的檢測(ce)方法有哪些(xie)？-天星(xing)為(wei)你介紹(shao)

中(zhong)微量氧的(de)分析，除采(cai)用氣(qi)相色譜法檢測(ce)外，常常采(cai)用在線的(de)專用微氧分析儀，對(dui)高(gao)純氣(qi)體(ti)中(zhong)的(de)微氧雜(za)質(zhi)進行連續(xu)的(de)監測(ce)，此種(zhong)微氧分析儀一般安裝(zhuang)在高(gao)純氣(qi)體(ti)制取設(she)備(bei)或(huo)純化設(she)備(bei)出口，用以(yi)監測(ce)獲(huo)得的(de)高(gao)純氣(qi)體(ti)中(zhong)的(de)微氧含量是否符合(he)規(gui)(gui)定的(de)要(yao)求；另外也常常安裝(zhuang)在高(gao)純氣(qi)體(ti)的(de)輸送(song)管路的(de)始、末端(duan)，用以(yi)監測(ce)高(gao)純氣(qi)體(ti)輸送(song)過程的(de)污染狀況，以(yi)確保用氣(qi)設(she)備(bei)處的(de)微氧含量符合(he)規(gui)(gui)定的(de)要(yao)求。

現常(chang)用的(de)微(wei)量氧(yang)分(fen)析(xi)(xi)方法。目(mu)前在(zai)10一(yi)9級(ji)微(wei)氧(yang)檢(jian)測中采用DF系列(lie)(lie)微(wei)氧(yang)分(fen)析(xi)(xi)儀，鉑系列(lie)(lie)氧(yang)分(fen)析(xi)(xi)儀是目(mu)前微(wei)氧(yang)分(fen)析(xi)(xi)儀，它采用一(yi)個非(fei)消(xiao)耗(hao)型(xing)電化學(xue)(xue)傳感器，類似(si)于(yu)庫倫(lun)計的(de)過程(cheng)，在(zai)電化學(xue)(xue)池(chi)內氧(yang)量被降(jiang)低了，鉑系列(lie)(lie)測氧(yang)時對傳感器的(de)任何(he)部分(fen)都沒有化學(xue)(xue)變化和分(fen)解。它不同于(yu)可更換的(de)電池(chi)型(xing)傳感器那(nei)樣使用一(yi)個可消(xiao)耗(hao)的(de)陽極oDF-560型(xing)微(wei)氧(yang)分(fen)析(xi)(xi)儀的(de)微(wei)氧(yang)檢(jian)測范圍是0～2×10_9，可對N2、He、H2、Ar等氣體中的(de)微(wei)量氧(yang)進行在(zai)線(xian)檢(jian)測，圖6-45是DF型(xing)微(wei)氧(yang)分(fen)析(xi)(xi)儀外形。

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