中高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(POU),為了達到儀器對氣體的質量要求,在一定氣體出口指標的情況下,應更注重管道系統的選材用和施工質量。下面奧飛克氣路安裝廠家就來為大家進行介紹。
對輸送高純氣體管道安裝而言,其影響氣體質量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。
氣體滲透性不同材料對氧的滲透性材料大氣中氧氣的滲透(ppm)不銹鋼管 O銅管 O聚丙烯管 1l聚四氟乙烯管 12普通鋼管 203 從表看到,對于輸送ppm級及更高純度要求的氣體,從氣體滲透角度必須選用不銹鋼管或者鋼管,如果我們不恰當地選用了不符合要求的管道材料,那么,無論我們采取什么凈化手段,都將是無濟于事的。出氣速率材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內部存在著某些雜質,在高純氣體的輸送過程中,如果氮和碳氫化合物結合,這些雜質會慢慢地釋放并污染高純氣體管道,特別是要求PPB中純度較高的非均質性的高純氣體。通常,低碳不銹鋼管有一個非常低的排量
吸附由于水分和其他雜質是極性分子,吸附非常強。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料容易吸收水等雜質。銅材料對水有很強的吸水性。使用這些材料運輸高純氣體容易造成污染不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。表面粗糙度和耐磨性為了確保輸送的氣體純清潔。要求在管道內表面進行高光潔度處理,以防止污染和墻壁潮濕滯留,可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨,可以在氣流高速沖刷下,金屬顆粒更少,不銹鋼的顆粒比銅管少,所以不銹鋼管比鋼管好。
抗腐蝕性微電子生產中,經常使用一些腐蝕性很強的氣體,這時必須采用耐腐蝕的管材,否則管道會被腐蝕,輕則表面產生銹斑,重則管道大面積剝落、穿孔,不但污染氣體管道,還會發生事故。以上就是奧飛克氣體管道安裝工程廠家為大家介紹的有關高純氣體管道安裝對配管和材質有什么要求的分析,希望可以給大家提供參考。通過以上的分析,大家應該知道了如何對高純氣體管道安裝的材質要求
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