對材質有(you)什么要(yao)求？高(gao)純度氣(qi)體(ti)管道中所 有(you)高(gao)純度、高(gao)潔凈的(de)氣(qi)體(ti)均需通(tong)過管路輸送到儀器(qi)用點(POU)，為了達到儀器對氣(qi)體(ti)的質(zhi)量要求(qiu)，在氣(qi)體(ti)出口指(zhi)標一定的情況下，則更需重視配管系(xi)統的材(cai)料選用和施(shi)工質(zhi)量。下面泉州天星(xing)氣(qi)體(ti)有限(xian)公司就來為大家進行(xing)介紹。

LED光電(dian)行業(ye)

對輸送(song)高純氣體管(guan)道而言，其影響氣體質量的(de)管(guan)道材料主要特性(xing)是氣體滲透性(xing)、出氣速率(lv)、吸附(fu)性(xing)、表面(mian)粗糙度和耐磨性(xing)、抗腐(fu)蝕性(xing)。

氣(qi)體(ti)滲透性

不同材(cai)料(liao)對氧(yang)的滲透(tou)性(xing)材(cai)料(liao)大氣中氧(yang)氣的滲透(tou)(ppm)不銹鋼管 O銅(tong)管 O聚丙(bing)烯(xi)管 1l聚四氟乙烯(xi)管 12普通鋼管 203 從(cong)表看到，對于(yu)輸送ppm級(ji)及更高純度要求的氣體，從(cong)氣體滲透角度必須(xu)選(xuan)用不銹鋼管或者鋼管，如果我(wo)(wo)們(men)不恰當地(di)選(xuan)用了不符合要求的管道材料(liao)，那么，無論我(wo)(wo)們(men)采取什么凈化(hua)手段(duan)，都將(jiang)是無濟于(yu)事的。

出氣速率

材料冶煉過程形成的管道材料晶(jing)間或者晶(jing)格內部存在(zai)著某(mou)些(xie)雜(za)質(zhi)，如氮、碳氫化合物等，在(zai)高(gao)純氣(qi)體輸送過程中，這些(xie)雜(za)質(zhi)會緩慢地釋放(fang)出來(lai)，污染高(gao)純氣(qi)體，尤其是雜(za)質(zhi)要求在(zai)ppb以上級的高純氣(qi)(qi)體。通常低(di)碳不銹鋼管的出(chu)氣(qi)(qi)速率極低(di)。

吸(xi)附(fu)性

由于水(shui)分等雜質(zhi)是極性分子(zi)，吸附性很強。橡膠(jiao)、塑(su)料(liao)或(huo)一些表面(mian)粗糙的材(cai)料(liao)極易(yi)吸附水(shui)分等雜質(zhi)，銅材(cai)對水(shui)吸附性極強，使用這些材(cai)料(liao)輸送高純氣(qi)體易(yi)被(bei)污染，除了輸送ppm級以下的氧氣(qi)會使用(yong)紫(zi)銅(tong)管外，高純(chun)氣(qi)體都不采用(yong)銅(tong)管和塑(su)料(liao)(liao)管，氣(qi)體會接觸到的墊(dian)片、填料(liao)(liao)也(ye)不得(de)采用(yong)橡膠、塑(su)料(liao)(liao)材(cai)料(liao)(liao)(包括聚(ju)四氟乙烯)。

表面粗糙(cao)度和(he)耐磨(mo)性

為了確(que)保(bao)輸送的(de)氣體(ti)純凈度，要求管(guan)道材料內(nei)表面有一個極高(gao)的(de)光潔(jie)度，這樣可以(yi)防止污(wu)染粒(li)子(zi)及濕氣在管(guan)壁滯留，可以(yi)在吹掃時比(bi)較(jiao)容易吹凈。管(guan)材比(bi)較(jiao)光潔(jie)而且(qie)耐磨，可以(yi)在氣流高(gao)速沖刷下，產生(sheng)的(de)金屬(shu)粒(li)子(zi)就少(shao)(shao)，不(bu)銹鋼(gang)比(bi)銅管(guan)產生(sheng)粒(li)子(zi)要少(shao)(shao)，所以(yi)不(bu)銹鋼(gang)管(guan)耐磨性優于鋼(gang)管(guan)。

抗(kang)腐蝕(shi)性(xing)

微(wei)電子生產中，經常(chang)使用一些腐蝕(shi)性很強的氣(qi)體，這時必(bi)須采用耐(nai)腐蝕(shi)的管材，否則(ze)(ze)管道會被腐蝕(shi)，輕則(ze)(ze)表面產生銹(xiu)斑，重則(ze)(ze)管道大面積剝落、穿孔，不(bu)但污染氣(qi)體，還(huan)會發生安|全事故。

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